某半导体设备制造技术公司企业因晶圆难以清理道工序行成含氨废水清理方法，供水量200吨/天。废水清理方法中除高锰酸盐指数外还含氟化物和氢化物发生器血本属，清理麻烦大。当地政府污染物条件需求高锰酸盐指数＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废气组成及源 晶圆清洁工作化工废水（其主要源于）：含氯离子200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀繁琐流程废水处理工艺：含氢化物发生器铜、镍等巨资属，pH值波动性大 CMP精磨废液：含硅颗粒物及挥发酚 操作鑫霖环保步骤流程 分为"化工乳浊液+膜拆分+折点氯化"搭配的工艺： 预工作 ：添加CaCl2除氟，管控pH在7.5-8. 反渗透装置系统 ：清除0.01μm上述悬浮物物 反融入精提 ：将氯离子浓缩提炼至1000mg/L这 折点氯化 ：精准度把握氯添加量，将氧化还原电位转变成为惰性气体 阴阳离子传递 ：保护血本属标准 进而感觉 氯离子稳定性高＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属硫含量降至在线检测限 水造纸废水处理率达75% 工业废水出现量减轻40%