某光电器件心片营造厂在晶圆代加工过程中中,操作硅烷开始硅外延性生长的,废气排放洗滌塔生成高盐浓度含硅生产废气。生产废气兼备pH振幅大(2-11)、硅含水量高的特征 ,中国传统加工处理方式方法易发现硅垢网络堵塞,网络响应过慢或许卡死情况。
污废水 有效成分及源头
废水处理工艺主要组成为:
融化性硅酸盐
:SiO₂酸度达1000-1500mg/L
浓盐酸/氢氧化的钠
:清洗塔酸碱度清洗液剩余的
颗粒物硅
:納米级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:成分悬浮物携带
治疗加工制作工艺 流量
转型升级通过"有级中合+膜滤水+挥发成果"技术:
两级采和
:用CaO调理pH至4-5,绘制硅酸钙沉淀出的,硅我们要除率60%。
2级与
:加Na₂CO₃将pH提拔至9,进步骤积累已满硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置控制系统
:0.02μm陶瓷厂家膜吸附納米级硅颗粒状,通量不稳定性在80LMH。
MVR化掉器
:精浓高盐废水处理,析出出Na₂SO₄副厂品,水工业废水处理率超90%。
最终能够体验
总硅从1500mg/L调至5mg/L下面的
砷含量的从0.8mg/L减少为0.01mg/L
软件无积垢使用小于2年
常年环保再生资源回收氢氧化钾钠多晶体约800吨