该厂为8屏幕尺寸晶圆加工线配套设施的超软水程序,每晚出现含硅生产废水150吨。生产废水下虽无高价属,但硅含磷量高易水垢,且电阻功率率需起到18MΩ·cm才行回收利用。原本的外理工学院艺没有达到新颁布实施的《智能工业园水被环境有害特性废气出标淮》(GB39731-2020)特备废气出卫生防护距离。
废气含量优势特点
重点废弃物物
:氢氧化铁硅(200-300mg/L)、粒子硅(粒度0.1-1μm)
特俗标准
:TOC<10μg/L,硼硫含量<5μg/L
水硬度基本特征
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅无机化合物性状非常复杂
治疗施工工艺标准流程
科技创新使用"梯级膜拆分+电去阴离子"三人组合工序:
微滤预净化处理
:1μm陶瓷图片膜短信拦截大粒子硅,通量确保80LMH
阳离子置换不饱和树脂
:D201大孔树酯选性降解硅酸碳原子
五级RO系統
:第1 段的回收利用率60%,第三段适用高脱硼膜部件
EDI电去正离子
:电流量孔隙率2A/m²,坚持彻底清除多余阴阳离子
分光光度计除菌
:254nm分光光度计线服用量40mJ/cm²
技术性突出
联合开发专用箱阻硅剂(有机化学胺类黏结物),减缓膜生态破坏周期怎么算3倍
EDI输出模块革新流道设计,硅弄掉率的提升至99.8%
线上硅进行分析仪器(測量依据0.1-500μg/L)改变精确调整
执行转化效果
经3方在线检测:
总硅从280mg/L调至0.05mg/L
硼分量从8μg/L降到0.3μg/L
模式利用率从原40%提高了至68%
膜调换周期性延伸至5年,年正常运作直接费用降低35%