建设项目视频背景
佛山某半导体技术厂制造工作中同一时间造成高硅生产废污水(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟生产废污水(F⁻ 200-300mg/L)。四种生产废污水混和容易产生氟硅酸固体,常用化学沉淀物法无发固定达到标准单位。工程项目必须发送到出掉硅和氟(的排放规范单位:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
化工废水成分表及因素
包括因素
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
由来
:晶圆刻蚀生活污水、CMP精磨生活污水、主设备清洗水
处置工艺设计流程步骤
协作水解的阶段
:
多级不良反应池
:
一号级加药Ca(OH)₂转化CaF₂和CaSiO₃沉垫;
第三级污泥脱水PAC(聚合反应氯化铝)升级斜板沉淀池。
固液分离处理分阶段
:
超滤膜设备
:运用0.02μm口径膜部件挤占胶体溶液硅和微细发展物。
高度脱氟价段
:
几丁质酶腐蚀铝吸附物塔
:稳定度氟铝离子吸收我们要除。
终结目的
满水后SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远远远高于祖国条件。
超滤膜系统软件通量稳定的在15LMH,物理进行维护清洁周期时间加长至60天。
淤泥经压滤后水分含量率<65%,可按一般的固体废弃物处理。