半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
业务原型
该半导商家坐落在长角形地区划分,通常的生产销售8厘米和12厘米晶圆,日尾气排放口原则废出水量约2000吨。可能的生产销售加工制作工艺 较为复杂,废泥里包含的几种难生物降解充分物和巨资属阴阳离子,传统文化进行处理的办法难考虑渐趋严格规范的尾气排放口原则原则。
废水处理方法有效成分及原因
生活污水处理基本特征于二个重要环节:晶圆裁切器生活污水处理包含许多硅粉和裁切器液农药残留;药剂学机械化打磨抛光生活污水处理蕴含氢氧化铁硅和考虑小粒;刻蚀家电清洗生活污水处理包含氟化物、铜阳离子等天价属;光刻制作工艺生活污水处理则包含光阻剂等有机会水污染物质。水体亮点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物含量高(200-400mg/L)、悬屏物多且包含轻微天价属。
进行处理的工艺环节
采取"物理预治疗+生化模式治疗+高度治疗"的组合构成工艺流程:
调结池匀衡水硬度排水量
沥青混凝土放置快速清理悬屏物和电解质溶液元素
药剂学结晶法专处理氟化物,加药系统钙盐建立氟化钙结晶
油脂水解过酸池增强废气可生物化学性
接受空气氧化池溶解有机化学环保问题物
亲水性炭吸附物塔开始深度的工作
膜分離系统保持冒水水体安全稳定
专门针对含铜废气单单设备亚铁离子互转软件系统,再利用有实际价值的复合铜。
终极成效
项目流程投入使用后启动稳定性高,出液COD<50mg/L,氟化物密度<5mg/L,铜铁离子密度<0.3mg/L,每一项完成指标均不同于各国《光电子行业水水空气污染物废气排污物要求》(GB 39731-2020)。每季度可增多COD废气排污物约300吨,氟化物废气排污物约50吨,出售铜合金金属约2吨,建立了区域效用与经济社会效用的共盈。