半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
创业项目原型
该鑫霖环保业企业公司为全.球前沿的半导体IC芯片首测鑫霖环保业企业公司,建在珠角形区县,常见开始舒适IC芯片的片区和封装形式测试英文。会因为是时间的环保想要严格执行,鑫霖环保业企业公司取决于方案废气零排卸市政工程。项目流程于明年启用,202五年6月起建投建,加工规模性为200吨/日,总投資约2000百万元。
废污水基本成分及起源
此项目的意义小学划片废污水兼有如下特质:
高盐氧浓度氟化物,核心源自晶圆分割后的冲洗道工序,氟正离子盐氧浓度高达到150-200mg/L
包含的納米级硅粉颗粒物,比表面积多在100-500nm两者
生物碳功率因数补偿较高,COD在500-800mg/L
具有刺激性氢化物发生器血本属如铅、镉等
电阻率高,经常在2000-3000μS/cm
正确处理制作工艺步骤
为控制零尾气排放标准目标值,方法设计构思关键要考虑废污水的分类抽取和自然资源收旧:
废液划分类别获取体统
:将含氟生活污水与一些生活污水独立抽取
药剂学乳浊液除氟
:选用二级钙盐石雕文化奠定法,听取高效率石雕文化奠定池
专业氧化反应办理
:臭氧杀菌促使阳极氧化溶解难治疗有机质物
膜浓缩提炼整体
:通过DTRO碟管式反渗,浓缩提炼陪数为10倍
化掉心得
:MVR机诫液体再压缩成减压蒸馏器处里浓水
太干体系
:将成果盐干躁后算作轻工业副物料外售
处里实际效果
软件系统程序运行数剧现示:
氟化物我们要除率>99.9%,出液氟铝离子<1mg/L
COD总快速清理率>98%,满水后COD<20mg/L
水能源收购 率>95%,仅会产生一点结晶体盐
历年可出售高好品质造纸废水处理水约3万吨
成果盐色度到工业品级标准化,做到物资化巧用
业务不单单推动了生活污水零释放,还按照网络资源再利用造就了约80亿元/年的另外收获。