半导体晶圆划片废水处理案例|半导体晶圆划片废水处理方法
楼盘历史背景
本新项目座落在长三角形位置某发展中国家级别半导各个企业观赏区,各个企业主要的生產8寸大和12寸大晶圆,曰产量超过2万片。因为生产量升高,应有的工业废水治疗操作系统已无非做到环境保护规范要求,急需要版本升级创新。新项目总加盟约1五百万元,开发治疗本事为300吨/日,于202一年成立 投用。
废气部分及来历
该单位晶圆划区多种工序产生的废污水包括分为一些的成分:
裁切的时候中应用的抛光液残存物,通常化学成分为二腐蚀硅粉末、表面层化学活化剂和有机化学添加图片剂
晶圆从表面家电清洗发生的含氟污废水 ,氟化合物密度在80-120mg/L
一定量高价属化合物如铜、镍等,源自于切开方式有损坏
有机酸强酸强碱无残留,具有异丙醇、二甲苯等
pH值波动性较多,通畅在4-10相互
外理施工工艺具体流程
争对废气性能,设计方案使用"化学预处里+什么是生化处里+纵深处里"的搭配制作工艺:
调节器池
:均衡性水体发电量,制定pH线下监测器和重新投加系统软件
水泥混凝土发展
:添加PAC和PAM,洗去漂浮物和溶液杂质
气浮模块
:所采用溶气气浮鑫霖环保进三步剔除猫瘟颗粒物和区域充分物
血生化进行处理
:用于MBR膜生物制品反應器,厌氧颗粒污泥渗透压维系在8000-10000mg/L
宽度正确处理
:可溶性炭气体吸附+反加入方法,事关满水后合格
活性污泥处理
:板框压泥机脱水怎么办,工业废水水分含量率调至60%下例
加工疗效
设备稳定性执行后,出水量水环境截然提高《智能工业园水造成的污渍废气基准》(GB39731-2020)特殊废气卫生防护距离耍求:
COD<30mg/L
氟阴阳离子<5mg/L
浮悬物<10mg/L
天价属相关目标均小于卫生防护距离
项目流程第年可少的固体废弃物排放物量约COD 32吨、氟化物8.5吨,工业废水处理水率起到75%及以上,为的企业可以有水费其他支出约115万元/年。