半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
该项目视频背景
该机构在杭州省成都市,通常从事于高端定制半导体行业清理芯片的封装类型检查,日摆放废排水量约200吨。主要是因为制造过程中中施用多种类化学反应药物制剂,废液基本成分麻烦,包含高氧浓度铜、镍等巨资属或光敏树脂光敏树脂、光刻胶等巧妙废弃物物。机构改变清理配制难以充分考虑2017最新摆放标准,继续购买专用汽车持续整改。
废渣成分表及來源
真空镀膜生产废水
:来历于集成ic引脚化学镀环节,所含铜、镍、锡等巨资属铝离子,pH值起伏大。
生产生产废水
:注意基芯片封装胶凝固后、光刻技艺,带有环氧防锈漆光敏树脂、异丙醇、二甲苯等有机肥料相转移催化剂。
碱酸污废水
:发生于晶圆清洁工作和蚀刻道工序,包含的氢空气氧化钠、硫酸钠、氢空气氧化钠等。
处里工序标准流程
预除理关键时期
耐酸碱中合
:利用投加药剂操作系统调结pH至6-9,应对以后加工装备灼伤。
混凝土结晶
:加药系统PAC(整合氯化铝)和PAM(PP酰胺),消除透明桌面物和一些血本属。
核心内容除理步骤
初中级脱色
:用到Fenton制剂(H₂O₂+Fe²⁺)细化难溶解巧妙物,COD避开率达70%上文。
膜净化
:反固化装置(UF)+反固化(RO)組合工艺技术,进一点挪作他用天价属和水解性无机物。
强度操作关键时期
化合物传递
:专业书籍对于铜、镍化合物,确认出液巨资属分子量压低0.5mg/L。
可溶性炭吸附剂
:做为从而维护,剔除杂质少量有机的物。
终结结果
经整理后,出水出水水质规则高达《电子为了满足电子时代发展的需求,工农业水危害物排卸规则》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,中水回用率完善至60%,去年降低直接费用自来水直接费用约80万余元。